工业用水指工业生产过程中使用的生产用水及厂区内职工生活用水的总称，不同行业对工业用水水质要求是不同的，根据水质可分为原水、清水、软化水、脱盐水、纯水等。

原水是指未经过处理的水，即进入水处理各工序之前的水。

清水，是指原水经混凝、澄清、过滤等处理后的水。

软化水，是指将水中的Ca²+、Mg2+等离子的含量降低或去除至一定程度的水。水在软化过程中仅降低硬度，而总含盐量保持基本不变。

脱盐水，是指将水中易于去除的强电解质去除至一定程度的水。在除盐过程中亦除去了部分机械杂质和有机物质。其剩余含盐量一般在1~5mg/L，25℃时的电导率为1~10μs/cm。

纯水又称去离子水，是指将水中易于去除的强电解质去除之外，还将水中难以去除的硅酸及二氧化碳等弱电解质去除至一定程度的水。

25℃时纯水中的电导率一般为0.1~1μs/cm，剩余含盐量一般应在1mg/L以下。

    超纯水又称高纯水，是指将导电介质几乎完全除去，同时不离解的气体、胶体以及有机物质（包含细菌等）均去除至很低程度。超纯水的含盐量小于0.1mg/L,25℃时的电导率为0.1μs/cm以下。

   工业用水的水质是保障产品质量、提高产能效率及安全生产的重要条件，随着科学技术突飞猛进的发展，半导体、石油化工、生物医药等相关产业产品品质和生产工艺不断升级，对生产过程中的水质要求也越来越高，很多场合都要使用超纯水。