为了真空泵内的洁净度，镀膜机真空泵过滤器起到了有利的作用，其中真空泵滤芯的应用广泛，不同型号的滤芯用在不同的系统中，真空泵滤芯主要是分离油和雾，从而对真空泵进行清洁。真空泵滤芯对真空泵重要，应该定期维护真空泵滤芯。
对于维护真空泵滤芯，首先我们要对真空泵滤芯做定期的检查，只有检查才能够发现不足，当我们发现真空泵滤芯出现问题的时候，要尽快解决。此外有些时候真空泵滤芯发生了堵塞现象，这时应该更换滤芯，已达到系统更好的工作。而且真空泵滤芯也有可能会损坏同样需要更换滤芯，当排放的气体中含有油，说明真空泵滤芯堵塞或者损坏，如果可以维修尽量维修，但是如果不能够进行维修，好尽快更换滤芯，平时多注意真空泵滤芯的过滤情况。
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