在需要停机维修真空镀膜机真空泵前，首先必须先断开真空镀膜机真空泵连接管道以保证机械真空泵己通大气压，然后让机械真空泵进行冷却，可先放掉泵内真空泵油，泵内油排放干净冷却20分钟以后才可拆开机械真空泵。
一、真空镀膜机真空泵维护时间表
机械真空泵维护时间间隔应根据真空泵使用环境而定，如抽除气体中包含有水份、杂质、粉尘等异物就必须频繁检修真空泵，反之则可延长检修时间表。
1、每日需要维护事项，检查泵内油质、油位
2、每星期需要维护事项，检查真空泵是否漏油，进气滤芯用风枪清理残留在总成与进气滤芯上的灰尘与杂物。
3、每月需要维护事项，检查排气过滤器(油雾分离器)功能，是否存在冒烟、喷油等现象，如果出现问题则需要更换真空泵排气过滤器。
4、每6个月需要维修事项，检查真空泵泵腔体是否有灰尘、污垢、积碳、杂质等，必要时可对真空泵进行清理，包括油箱、泵体、风扇、风扇轮、通风格栅、冷却翅片。
5、每工作500~2000小时需要维护事项：更换真空泵排气过滤器、真空泵油、真空泵油过滤器，检查泵内浮子阀、及回油管道。
进行以上操作的时候，请确保真空泵在停机情况下进行。
二、真空泵油的检查
检查真空泵油的情况可通过油视镜观看到泵油的情况，如果泵油己低于油视镜“MIN”标记处，则应检查是否由于工艺需求导致。
真空泵油的着色必须是光亮、清晰的，不能存有泡沫或浑浊，油静止沉淀后有明显的乳白色物质和黑色碳晶特，则必须更换掉使用的真空泵油，加入同等型号真空泵专用油。
三、真空泵油的使用寿命
泵油的使用寿命取决于真空泵所处的工作环境，抽取干净、干燥的气体及工作温度低于100℃的工作环境下，一般每隔500-2000工作小时或每隔半年必须更换油及油过滤器，在非常恶劣的工作环境下，必须少于500工作小时换油，如果有抽除腐蚀性气体，必须得使用特制进气过滤器和专用合成油，必要时使用氟油。
四、真空泵油和油过滤器的更换
1、真空泵排油，切断真空泵电源20分钟以后，确保真空泵己通大气压，找到真空泵排油口(油视镜下方)，旋下排油口放出真空泵油，当泵油的流量较小时，可重新启动真空泵数秒，再次亲闭真空泵切断电源后重新打旋下排油口进行放油，多次重复此动作直至真空泵油排尽。
2、清洗真空泵，首先需将废油排尽，按照50%真空泵油，50%石蜡或柴油机燃料/燃料油比例调配2L清洗液;旋紧泄油塞，将此清洗液注入真空泵内，关闭进气口，启动真空泵运行至少30分钟;然后排放清洗液，并将排放的清洗液按照环保法规处理。
3、 检查浮子阀：卸下回油管与油箱之间的接头，然后卸下浮子阀法兰的两个螺钉，从油箱内取出浮子阀;检查浮子阀是否清洁、是否损坏，必要时用压缩空气清洗。组装时注意浮子阀法兰上已安装密封圈并完好无损，将浮子阀放入油箱的正确位置。
4、更换油过滤器：在新的油过滤器内的密封圈上滴润滑油，组装并用手拧紧。
5、注入新油：旋下加油塞，注入真空泵专用油，须确保油位位于油位镜的“MIN”与“MAX”标记之间;旋紧装有密封圈的加油塞。
五、排气过滤器
1、真空泵运行时的检查：使用排气过滤器压力表检测排气过滤器是否堵塞，当压力表读数位于红色区域，说明排气过滤器已堵塞，必须更换。
如果无排气过滤器压力表，则排气过滤器的阻力由驱动电机电流的变化来测定，驱动电机消耗过多的电流或真空泵的流量下降，说明排气过滤器已堵塞，必须更换。
如果排气过滤器压力表指示的压力比通常低，或驱动电机消耗的电流比通常少，原因是有一个排气过滤器损坏，需更换排气过滤器。
如果排放的气体中含有油，原因是排气过滤器堵塞或损坏，须更换。排气过滤器不能彻底清洗干净，必须更换堵塞的排气过滤器。
2、更换排气过滤器前请先关闭真空泵并切断电源，确保真空泵已通大气压，从油箱上打开排气口盖板，借助专用内六用搬手拆下排气过滤器，将装有密封圈的新的排气过滤器开口端安装在油箱内正确位置上。
六、真空泵的大修
为了使真空泵的工作效率达到，使用寿命更长，其安装与校准有精确的公差。拆装真空，校准公差将丢失。因此，拆装事项必须由“专业的真空泵厂家”公司提供服务。
污染物质会残留在真空泵的气孔、间隙及内部;拆装含有污染物的真空泵会有损健康。拆装真空泵，操作人员必须穿戴防护装备。
七、真空泵停止使用
1、暂时停止使用：请先通大气压，然后断开管道或进气口连接。
2、重新使用：先拆下驱动电机的风扇罩，按照旋转方向，用手慢慢旋转风扇轮几圈，再安装风扇罩。
开通电源启动。如长时间停止使用，需将真空泵油排除。
