真空滤油机通常安装在减压阀、泄压阀、定水位阀或其它设备的进口端，用来消除介质中的杂质，以保护阀门及设备的正常使用。当流体进入置有一定规格滤网的滤筒后，其杂质被阻挡，而清洁的滤液则由过滤器出口排出，当需要清洗时，只要将可拆卸的滤筒取出，处理后重新装入即可。还可以检查油液的粘度，观察油窗的是否有较明显的上升；真空滤油机停止运行后几小时，打开油口的加油盖，检查盖内侧是否有水珠，也可以用滤纸测试，滴一滴油在滤纸上，如果油滴扩散边缘有花边状浸润，说明油中的含水量超标。也可对液压油取样检测。将油样滴落在热铁板上，如果有气泡出现(水在高温下变成水蒸气形成气泡)。
真空滤油机的汽轮机油及变压器油的净化，液压润滑油的除水及除杂质过滤，各类油品的再生净化，不同的液体有着不同的饱和蒸气压，水大约在30kPa压力下开始沸腾，而油则在5Pa的低压下才能沸腾。在相同的温度下，油的饱和蒸气压比水要低得多。真空滤油机通过抽真空将油液液面的压力降低到水的饱和蒸气压以下时，则油液中的水将发生剧烈的汽化，并以蒸汽的形式从油中溢出，油液从顶部进入真空罐内并通过喷嘴喷淋而下，油液中的水分在真空室内汽化并被真空泵抽出。在真空室的中部填有亲油材料，使喷淋下来的油液分散在填充材料表面而形成很薄的油膜，以增大气液两相界面面积，并延长油液在气相空间中停留的时间。
