不同的液体有着不同的饱和蒸气压。在70％的温度下，水大约在30kPa压力下开始沸腾，而油则在5Pa的低压下才能沸腾。
在相同的温度下，油的饱和蒸气压比水要低得多。因此，通过抽真空将油液液面的压力降低到水的饱和蒸气压以下时，则油液中的水将发生剧烈的汽化，并以蒸汽的形式从油中溢出。
通过真空的吸力，油液从顶部进入真空罐内并通过喷嘴喷淋而下，油液中的水分在真空室内汽化并被真空泵抽出，除水后的油液从底部排出。
在真空室的中部填有亲油材料，使喷淋下来的油液分散在填充材料表面而形成很薄的油膜，以增大气液两相界面面积，并延长油液在气相空间中停留的时间。
真空滤油机的应用有：
1、汽轮机油及变压器油的净化；
2、液压润滑油的除水及除杂质过滤；
3、液压润滑系统清洁度的全面提高；
4、各类油品的再生净化。
