1. 真空泵进气管路及连接处漏气 ----- 找出漏气原因或临时用真空封泥封堵
2. 所抽气体温度过高 ---- 在进气管路上假装冷却装置，降低进气温度
3. 油量不足或油质不对 ---- 增添新的机械泵专用的真空泵油
4. 真空泵油已污损 ---- 更换新的真空泵专用油
5. 真空泵油温度太低 ---- 在寒冷季节，室内温度过低影响真空泵油温度，等泵运转半小时后，才能正常工作
6. 真空泵排气阀片损坏漏气 ---- 更换新的真空泵排气阀片
7. 真空泵进气管路连接处橡胶垫圈损坏 ---- 更换新的橡胶密封垫圈
8. 所抽气体含有可凝性蒸汽 ---- 加用气镇装置或加装蒸汽捕集装置
9. 几间损坏 ---- 因使用时间长，零件磨损，零件之间的间隙变大，从而影响正常工作和真空度，须进行修理更换
10.选用真空计不对 ---- 应按照标准选用压缩式真空计以测得的分压强为准，或以电真空计测得全压强作参考
