对气体活性气体CO、CO2、O2、N2、H2O等的吸气抽率,在压力低于10-3Pa时,在400℃温度下达到饱和。该泵对活性气体的吸气速率随着吸气剂吸气量的增加而降低。当吸气速率随着吸气量的增加而达到名义抽速的80%时,要在高温下再激活处理。在激活的次数一般可达20次。
对气体活性气体CO、CO2、O2、N2、H2O等的吸气抽率,在压力低于10-3Pa时,在400℃温度下达到饱和。该泵对活性气体的吸气速率随着吸气剂吸气量的增加而降低。当吸气速率随着吸气量的增加而达到名义抽速的80%时,要在高温下再激活处理。在激活的次数一般可达20次。