油扩散泵又称油增压泵,它是从油扩散泵发展而来的。油扩散喷射泵的工作压力范围为10~10-2pa，在此工作压力范围内油扩散喷射泵有较高的抽速和最大出口压力。通常油扩散喷射泵要比油扩散泵的抽气量高4~20倍，加热功率高2~5倍。按其工作压力范围来说，油扩散喷射泵正好填补了油封式机械泵和高真空油扩散泵抽气能力下降的中间地带。油封式机械泵的抽速在低压力范围有明显的降低，在10-1pa时实际上抽速几乎为零；而大多数的高真空油扩散泵在这样的压力范围内抽速也较小。然而在1~10-1pa的工作压力范围内，油扩散喷射泵恰好具有较大的抽速。
因此，油扩散喷射泵除用作主泵外，还可以用到大型油扩散泵的出口处，来增加其出口压力，使前级机械泵能有效地工作，故称其为油增压泵。油扩散喷射泵与油扩散泵相比，不同点仅在于性能曲线的有效工作范围不同而已。虽然两者的结构和应用有所不同，但抽气的基本原理没有多大的区别。
因此，油扩散喷射泵除用作主泵外，还可以用到大型油扩散泵的出口处，来增加其出口压力，使前级机械泵能有效地工作，故称其为油增压泵。油扩散喷射泵与油扩散泵相比，不同点仅在于性能曲线的有效工作范围不同而已。虽然两者的结构和应用有所不同，但抽气的基本原理没有多大的区别。
油扩散喷射泵目前广泛用于真空感应炉和真空电弧炉、电容器的真空干燥和浸渍、真空蒸馏等设备上。对泵来说，无论是在高入口压力下工作还是低入口压力下工作，即在整个工作压力范围内工作，都应该有足够高的抽速。当然，这样的蒸汽射流状态，对于泵单独在高压力下或在低压力下工作，性能就不可能是最佳的了，只能是对泵的整个工作范围来说是最佳的。在给定的工作压力范围内，泵也只能在某一压力下有抽速最大值。
